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行星减速机获得硬齿面齿轮的热处理方法有表面淬火，整体淬火、渗碳淬火、渗氮等几种。
1、表面淬火
常见的表面淬火方法有高频淬火（对小尺寸齿轮）和火焰淬火（对大尺寸齿轮）两种。表面淬火的淬硬层包括齿根底部时，其效果*好。表面淬火常用材料为碳的质量分数约0.35%~0.5%的钢材，齿面硬度可达45~55HRC。
2、渗碳淬火
渗碳淬火齿轮具有相对*大的承载能力，但必须采用精加工工序（磨齿）来消除热处理变形，以保证精度。
渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58~62HRC的范围内。若低于57HRC时，齿面强度显著下降，高于62HRC时则脆性增加。轮齿心部硬度一般以310~330HBW为宜。渗碳淬火齿轮的硬度，从轮齿表面至深层应逐渐降低，而有效渗碳深度规定为表面至深层应逐渐降低，而有效渗碳深度规定为表面至硬度52.5HRC处的深度。
渗碳淬火在轮齿弯曲疲劳强度方面的作用除使心部硬度有所提高外，还在于有表面的残余压应力，它可使轮齿*大拉应力区的应力减小。因此磨齿时不能磨齿根部分，滚齿时要用留磨量滚刀。
3、渗氮
采用渗氮可保证轮齿在变形*小的条件下达到很高的齿面硬度和耐磨性，热处理后可不再进行最后的精加工，提高了承载能力。这对于不易磨齿的内齿轮来说，具有特殊意义。
4、相啮合齿轮的硬度组合
当大、小齿轮均为软齿面时，小齿轮的齿面硬度应高于大齿轮。而当两轮均为硬齿面且硬度较高时，则取两轮硬度相同。
获得硬齿面齿轮的热处理方法很多，应根据行星齿轮减速机的特点考虑选定。同时，选择好的行星齿轮减速机材料，有利于提高齿轮减速机的承载力及使用寿命。
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